Di seguito sono riportate delle immagini SEM relative ad una serpentina di titanio depositata su silicio tramite evaporazione termica. Le immagini si riferiscono alle diverse tecniche proprie del SEM, oltre alle possibilità fornite dalla microanalisi tramite raggi X (EDS):
Esempio relativo alle diverse informazioni che si possono ottenere raccogliendo segnali diversi: in questo caso elettroni secondari (SEI) e di backscattering (BEI). Il campione è un film sottile, visto in sezione, cosituito da una serie di strati di ITO(=ossido di Indio e Stagno) e TiO2 alternati. Avendo Indio e Stagno numero atomico maggiore del Titano sono facili da osservare in backscattering. Da notare come all'interfaccia con il silicio il film sia perfettamente planare, ma poi crescendo aumenti la rugosità a causa della crescita colonnare (in questo caso inclinata) tipica dei film depositati per sputtering.
Un esempio di analisi dell'immagine applicata alle comuni analisi SEM. Acquisire l'immagine con adeguati accorgimenti consente di effettuare in seguito un'analisi della stessa in modo rapido e dettagliato. Di seguito è riportato un esempio di analisi dell'immagine applicato ad un substrato poroso di allumina per il quale si è reso necessario studiare la distribuzione in area delle porosità.
E' sufficiente cliccare sulle immagini per visualizzarle ingrandite.
