Quando il fascio interagisce con il campione, gli elettroni che lo costituiscono possono subire scattering di tipo anelastico con i nuclei e con gli elettroni degli elementi costituenti il campione, come già visto nel caso degli elettroni secondari. Si tratta di un processo di ionizzazione in cui si ha l'emissione anche di Raggi X caratteristici.
Il volume in cui vengono generati i Raggi X caratteristici è quello indicato in giallo nella figura sotto. Le energie tipiche dei fotoni emesse sono ovviamente inferiori all'energia del fascio di elettroni incidente (E0) e provengono da una profondità che può variare grossomodo da 0.1 a 5 micron.
Breve descrizione del rivelatore di Raggi X caratteristici.
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